第139章 毕业了(下)(1/2)

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现在已经是大四了,该去实习的去实习,该考研的考研,谢重要考研,也加入了复习大军,不过他没有去图书馆。

大部分时间不是在宿舍、就是在公司。

公司6幢大楼已经交付了,三期工程还有三幢,已经破土动工了,交期为2007年6月。另外,那一千亩土地的已经施工了,整个园区的整体的规划早已经做出来了。

第一期标准厂房占地199亩,五楼层高,经过一年多的建设,全部完成,防尘。防静电都达到五级标准。

比简易厂房要好得多,并且,整个字符科技的园区,做了8级防地震处理!

简易厂房的装修材料可以重复利用,在这一年里多的时间里,孙教授带着他的团队。成功的完成90纳米芯片的流片,成功的达到了量产芯片的水准。

但45纳米芯片孙教授的团队试过几次了,还是不行,无法达到量产。

谢重原本以为,只要将90纳米再次曝光,就可得到45纳米芯片,45 纳米芯片是得到了。

在制作光刻掩膜版(Mask Reticle)光刻掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。

这步没 问题,这步的作用是芯片设计师将CPU的功能、结构设计图绘制完毕之后,就可将这张包含了CPU功能模块、电路系统等物理结构的“地图”绘制在“印刷母板”上,供批量生产了。这一步骤就是制作光刻掩膜版。

然后就是氧化!

光刻机将紫外(或极紫外)光通过镜片,照在前面准备好的集成电路掩膜版上,将设计师绘制好的“电路图”曝光(光刻)在晶圆上,这步也攻克了。

先溶解光刻胶,光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致再进行蚀刻

孙教授和他的团队,真是很厉害。

然后是蚀刻,照射到的光阻需要用显影液祛除,这时芯片制作过程就完成了一半。

接下来是离子注入:在真空中,用经过加速的原子、离子照射(注入)固体材料,使被注入的区域形成特殊的注入层,改变区域的硅的导电性

孙教授的团队就卡在这一步,照射(注入)固体材料的配比,45纳米与90纳米完全不一样,

他们尝试过很多次,每次到这里就会出问题,最后流片出来的,达不到设计要求。

至于后面的电镀,抛光,晶圆测试,内核级别,使用参考电路图案和每一块芯片进行对比,晶圆切片,封装及再次测试都没有问题。

流90纳米芯片已经有经验了。

问:从沙子到芯片,一总需要步。

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