第435章 第一台国产光刻机（2/2）

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王晋这会道：“对了李教授！袁博士这次来就是来看你的光刻机的。现在能看吗？”

李红军听到这也反应了过来点头道：“能看！我带你们去。”

……

袁枫等人跟着李红军走来到了精密仪器实验室……实验室当中放着一个巨大的玻璃房，里面摆放着一台机器。

李红军看向了旁边的一个人道：“去拿一些白大褂过来。”

“好的！”来人说完就去拿衣服了。

李红军看向了袁枫：“袁博士，这就是我们大学研发的光刻机。”

系主任文志刚急忙补充道：“也是全国第一台光刻机。”

袁枫点了点头，打量了一下这台光刻机……这台机器的外形看起来相当的专业和复杂，一个大底座上安装着一个旋转部件，可能是用于放置晶圆的平台。旁边是一个控制面板，上面布满了按钮和开关，还有一排显示屏，显示着各种参数和状态信息。顶部则是一个较大的镜头或光源装置，可能是用来进行精确的光刻工作。

整体来说，这台机器给人一种高科技、精密工程的感觉。当然，这是在一般人看来的情况下，在袁枫看来这台光刻机还非常的简陋和未来Asml的光刻机根本就不是一个级别的产品。

不过袁枫去过英特尔公司参观，自然见过他们的光刻机，大致结构和这台机器也差不多。只能说现在的光刻机，基本都是这样的。与其说是光刻机，不如说是一台大型显微镜。

袁枫对这台光刻机的外形基本满意，因为哪怕现在是佳能公司的光刻机，看外形也就这种水平。“对了李教授，咱们的这台光刻机采用的是什么工艺？理论工艺精度是多少？”

李红军道：“咱们的这台光刻机采用的是自动对准分步式光刻工艺，属于非接触式的加工流程，理论最小加工精度能够达到一微米左右。”